主要科研成果

1) Wenhu Xu, Jianzhong Jiang, Qixiang Xu, Min Zhong*, Drinking tastes of Chinese rice wine under different heating temperatures analyzed by gas chromatography–mass spectrometry and tribology tests. Journal of Texture Studies. 2021, 52:124-136.（第一作者，SCI）

2) Wenhu Xu, Yuanyao Cheng, Min Zhong*, Effects of process parameters on chemical-mechanical interactions during sapphire polishing, Microelectronic Engineering, 2019, 216: 111029. （第一作者，SCI）

3) Wenhu Xu, Lian Ma, Yan Chen, Hong Liang*, Mechano-oxidation during cobalt polishing, Wear, 2018, 416-417:36-43. （第一作者，SCI2区）

4) Wenhu Xu, Lian Ma, Yan Chen, Hong Liang*, In situ study of mechanical-electrochemical interactions during cobalt ECMP, Journal of The Electrochemical Society, 2018, 165(5): 184-189. （第一作者，SCI2区）

5) Ying Liu, Jingru Hu, Min Zhong, Wenhu Xu*, A novel, simple and rapid method for the detection of melamine from milk based on tribology measurements, Tribology International, 2018, 119: 66-72. （通讯作者，SCI2区）

在研基金项目简介

国家自然科学基金2项：集成电路新型互连金属钴电化学机械抛光及原子尺度机理研究；超声弯曲振动辅助化学机械抛光原子级光滑蓝宝石衬底机理研究

随着集成电路技术节点向5 nm以下进军，传统化学机械抛光工艺越来越不能满足集成电路制造要求。提出利用超声振动、电场辅助化学机械抛光新工艺，对新型集成电路半导体材料、互连金属材料进行复合抛光，可大幅提高抛光效率及抛光质量，并对其抛光机理进行揭示。为解决集成电路制造“卡脖子”问题提供理论、工艺和技术支持。